MEMS tlakový senzor

Názov

 
Mikroelektro-mechanický tlakový senzor s
tranzistorom s vysokou pohyblivosťou elektrónov
typu C-HEMT a spôsob jeho výroby 
Propagačné
materiály
Prihlasovateľ(-ia)/
Majiteľ(-ia)
Elektrotechnický ústav SAV
Centrum vedecko-technických informácií SR
Spolupôvodcovia



 
Vanko Gabriel, Ing., PhD.
Dzuba Jaroslav, Ing.
Lalinský Tibor, Ing., CSc.
Vallo Martin, Ing., PhD
Rýger Ivan, Ing.
Stav
Udelený patent (SK) č. 288538